超精密气浮平台的主要构成部分，包括底座、导轨、气浮滑块和顶板等，采用直线电机驱动。

超精密定位平台按导轨形式可分为机械式、磁悬浮式和气浮式等，它是一个机电一体化系统，是集静压气体导轨技术、直线驱动技术、数控技术、动静态特性分析与优化、自动控制原理、测试与实验分析等多种技术于一体的综合技术，其中，控制系统是定位平台能否实现高速精度定位的关键。机械式导轨由于摩擦、死区等特性难以达到超精密的定位要求，而磁悬浮式和气浮式导轨因为没有摩擦，故能实现超精密定位。磁悬浮式导轨需要高性能的控制系统，制造成本较高，气浮式导轨则具有结构简单、质量轻便和设计灵活等优点。超精密气浮定位平台在工作中会受到驱动系统的冲击力、负载的惯性力、气体的脉动力等复杂载荷的作用，还会受到环境振动的干扰，对于需要微米、亚微米甚至纳米级定位精度的定位平台，如果其结构动力学特性设计不好，在工作中发生共振，将严重影响其定位精度。 

超精密气浮定位平台大多以花岗岩作为气浮台主要材料，花岗岩力学稳定性好,经过亿万年的天然力学平衡,其内应力基本上消失,内部结构稳定,能够长期保持较好的稳定性.花岗岩自身形状受温度影响非常小,热膨胀系数非常小,导热率也较低,因此对于周围环境的要求较低,同时花岗岩易于加工,吸震性好.相对于金属制品,不用考虑生锈,腐蚀等其他因素的影响。可以得到比较稳定的气浮机构,实现压缩空气从节流孔喷出时将超精密加工实验台均匀浮起的悬浮系统。

看完之后，想必大家对超精密气浮定位平台有所了解了，如果还有相关问题可以自行咨询小编！

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